中文名称:(4-叔丁基苯基)二苯基氯化硫鎓盐

中文别称:(4-(叔丁基)苯基)二苯基锍氯化物

英文名称:(4-tert-Butylphenyl)diphenylsulfonium chloride

英文别称:(4-(Tert-butyl)phenyl)diphenylsulfonium chloride

分子式:C??H??ClS

分子量:354.94

主要用途
它是一种高效的光酸产生剂(Photoacid Generator, PAG),主要用于半导体制造领域的化学放大型光刻胶中。

在248纳米(KrF)深紫外光刻工艺中,该化合物发挥着关键作用:

工作原理:曝光于特定波长光线下时,其分子会发生光解,释放出强酸(HCl)。

化学放大:释放的强酸在后续烘烤中作为催化剂,促使光刻胶树脂发生化学变化(如脱保护),实现从“不溶解”到“可溶解”的转变。

最终效果:通过这一“化学放大”过程,能够在显影后形成高分辨率、高对比度的精密电路图形,是制造先进芯片的重要材料之一