1. 基本信息
中文名称:丙烯酸 1-乙基环戊酯
英文名称:2-Propenoic acid, 1-ethylcyclopentyl ester(或 1-Ethylcyclopentyl acrylate)
分子式:C??H??O?
分子量:168.23
2. 中英文名称及别称
中文别称:1-乙基环戊基丙烯酸酯、1-丙烯酸乙基环戊酯、2-丙烯酸1-乙基环戊酯等
英文别称:ECPA、ETCPA、1-Ethylcyclopentyl 2-propenoate、Acrylic Acid 1-Ethylcyclopentyl Ether等
3. 用途总结
丙烯酸 1-乙基环戊酯是一种重要的丙烯酸酯类特种单体,主要应用于以下领域:
光刻胶核心单体:该产品是半导体光刻胶(如负性光刻胶、电子束光刻胶等)配方中的重要原料。其分子结构中包含的脂环族基团(1-乙基环戊基)能提供良好的空间位阻和热稳定性,有助于改善光刻胶的抗蚀刻性能、耐热性以及成膜特性,在高端芯片制造的光刻工艺中具有重要应用价值。