1. 基本信息
中文名称:1-乙基环戊基甲基丙烯酸酯
英文名称:1-Ethylcyclopentyl methacrylate
分子式:C??H??O?
分子量:182.26
2. 中英文名称及别称
中文别称:甲基丙烯酸1-乙基环戊酯、1-甲基丙烯酸乙基环戊基酯、1-乙基-环戊醇甲基丙烯酸酯、1-乙基环戊基-1-甲基丙烯酸酯等
英文别称:(1-ethylcyclopentyl) 2-methylprop-2-enoate、2-Propenoic acid, 2-methyl-, 1-ethylcyclopentyl ester、1-ethylcyclopentyl ester、ECPMA 等
3. 用途总结
1-乙基环戊基甲基丙烯酸酯是一种重要的甲基丙烯酸酯类特种单体,主要应用于以下领域:
光刻胶核心单体:它是 ArF 光刻胶配方中的关键成膜树脂原料。其分子结构中的环戊基基团具有较大的空间位阻,能有效提升聚合物的玻璃化转变温度(Tg),从而增强光刻胶的耐热性和抗蚀刻性能。同时,它在193nm深紫外光下具有优异的光学透过性,可提升图形分辨率和线宽粗糙度(LWR)性能。
高性能涂层:在高性能涂层领域具有不可替代的应用价值。